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1200℃双管滑动式单、多温区CVD系统

产品用途:此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

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关键词:

CVD系统

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    • 商品名称: 1200℃双管滑动式单、多温区CVD系统
    • 商品编号: 1034429665285857280

    产品用途:此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

    销售热线:15122725930 

     

    产品用途:

    此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔

    电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

     

    产品组成:

    CVD系统配置:

    1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区及双温区)。

    2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统。

    3.内外双石英管,采用真空可通气氛双法兰特殊连接。

    4.多路气体流量控制系统(质子流量控制器和浮子流量控制器)

    5.真空系统(可选配中真空或高真空)     

     

    产品特点:

    产品独特性

    1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

    2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。

    3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。

    4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位功能,炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温。

    5 双管真空密封法兰,反应气体可以在内外管之间发生反应,冷却气体可通过内管,从而使内管外壁温度降低。

     

    系统名称

    1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统

    系统型号

    CVD-12II6SH-3Z/G

    CVD-12III9SH-3Z/G

    最高温度

    1200℃

    加热区长度

    610mm

    940mm

    恒温区长度

    400mm

    700mm

    温区

    双温区

    三温区

    石英管管径

    内管:Φ80mm   外管:Φ100mm

    额定功率

    4.8Kw

    7.2Kw

    额定电压

    220V

    380V(三相)

    滑动距离

    485mm

    650mm

    滑动方式

    手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动,当程序完成,炉子按设定的速度滑动)

    温度控制

    国产程序控温系统50段程序控温;

    控制精度

    ±1℃

    炉管最高工作温度

    <1200℃

    双管法兰连接

    采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能,并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装

    气体控制方式

    质量流量计

    气路数量

    3路(可根据具体需要选配气路数量)

    流量范围

    0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

    精度

    ±1%F.S

    响应时间

    ≤4sec

    工作温度

    5-45℃

    工作压力

    进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

    系统连接方式

    采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

    规格

    高真空

    系统真空范围

    1x10-3Pa-1x10-1Pa

    真空泵

    真空分子泵理论极限真空度
    5x10-6Pa抽气速率1600L/S
    额定电压220V 功率2Kw

    炉体外形尺寸

    480×770×605mm

    410×1100×605mm

    系统外形尺寸

    530×1440×750mm(不含高真空)

    系统总重量

    340Kg

     

    关键词:
    • CVD系统
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