证券代码：872594
您好，欢迎登录天津中环电炉股份有限公司官网！
热线电话：022-26980130（8：30-17：30）
热线手机：15122725930（微信）
Q Q :2258734449
邮 箱： CTJZH@CTJZH.COM
网 址： WWW.CTJZH.COM
浏览手机官网
微信公众号
产品分类
浏览量：
RTP-小型快速退火炉
所属分类
管式炉系列
销售热线：022-26980130 15122725930
产品描述
技术参数
售后服务
销售热线：022-26980130 15122725930
产品应用：
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、
快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品特点：
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,最大升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。
|
产品名称 |
RTP-小型快速退火炉 |
|
产品型号 |
RTP-G11103-K |
|
额定功率 |
9KW |
|
额定电压 |
220AC 50/60Hz |
|
最高温度 |
1000°C |
|
连续工作 |
950°C(<1 小时) |
|
加热区长度 |
300mm |
|
恒温区长度 |
100mm |
|
加热元件 |
红外灯管 |
|
温度控制 |
国产程序控温系统可编程50段程序控温； |
|
控制精度 |
±1℃ |
|
石英管尺寸 |
Φ110*380MM |
|
炉管材质 |
石英管 |
|
滑动距离 |
355mm |
|
滑动方式 |
手动滑动 |
|
建议升温速度 |
室温900℃：30℃/sec |
|
外形尺寸 |
950 X 350 X 530 mm |
|
重量 |
45Kg |
|
标准配置 |
气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。 |
上一篇
1200℃旋转式真空气氛管式电炉
RTP-滑动式快速退火炉
下一篇