证券代码：872594
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产品分类
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RTP-小型快速退火炉
所属分类
管式炉系列
销售热线：022-26980130 15122725930
产品描述
技术参数
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销售热线：022-26980130 15122725930
产品应用：
该电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、
快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验
产品特点：
可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,最大升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。
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产品名称 |
RTP-小型快速退火炉 |
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产品型号 |
RTP-G11103-K |
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额定功率 |
9KW |
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额定电压 |
220AC 50/60Hz |
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最高温度 |
1000°C |
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连续工作 |
950°C(<1 小时) |
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加热区长度 |
300mm |
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恒温区长度 |
100mm |
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加热元件 |
红外灯管 |
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温度控制 |
国产程序控温系统可编程50段程序控温； |
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控制精度 |
±1℃ |
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石英管尺寸 |
Φ110*380MM |
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炉管材质 |
石英管 |
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滑动距离 |
355mm |
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滑动方式 |
手动滑动 |
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建议升温速度 |
室温900℃：30℃/sec |
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外形尺寸 |
950 X 350 X 530 mm |
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重量 |
45Kg |
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标准配置 |
气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。 |
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