天津中环电炉股份有限公司
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产品特点

1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统

产品用途

此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔
 
电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

产品组成:

CVD系统配置:

1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区及双温区)。

2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统。

3.内外双石英管,采用真空可通气氛双法兰特殊连接。

4.多路气体流量控制系统(质子流量控制器和浮子流量控制器)

5.真空系统(可选配中真空或高真空)     

产品特点:

产品独特性

1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气

造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。

4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位

功能,炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温。

5 双管真空密封法兰,反应气体可以在内外管之间发生反应,冷却气体可通过内管,从而使内管外壁温度降低。
 


系统名称 1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统
系统型号 CVD-12ISH-3Z/G CVD-12II6SH-3Z/G CVD-12III9SH-3Z/G
最高温度 1200℃
加热区长度 420mm 610mm 940mm
恒温区长度 210mm 400mm 700mm
温区 单温区 双温区 三温区
石英管管径 内管:Φ80mm   外管:Φ100mm
额定功率 2.5Kw 4.8Kw 7.2Kw
额定电压 220V 220V 380V(三相)
滑动距离 290mm 485mm 650mm
滑动方式 手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动,当程序完成,炉子按设定的速度滑动)
温度控制 国产程序控温系统50段程序控温;
控制精度 ±1℃
炉管最高工作温度 <1200℃
双管法兰连接 采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能,并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装
气体控制方式 质量流量计
气路数量 3路(可根据具体需要选配气路数量)
流量范围 0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定
精度 ±1%F.S
响应时间 ≤4sec
工作温度 5-45℃
工作压力 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)
系统连接方式 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
规格 中真空 高真空
系统真空范围 10Pa-100Pa 1x10-3Pa-1x10-1Pa
真空泵 双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa,抽气速率4L/S,出气口配有油污过滤器,额定电压220V,功率0.55Kw 真空分子泵理论极限真空度
5x10-6Pa抽气速率1600L/S
额定电压220V 功率2Kw
炉体外形尺寸 340×580×555mm 480×770×605mm 410×1100×605mm
系统外形尺寸 530×1440×750mm 530×1440×750mm(不含高真空)
系统总重量 240Kg 340Kg